隨著(zhù)生產(chǎn)工藝的不斷發(fā)展，電子工業(yè)對環(huán)境及其配套工程的要求越來(lái)越嚴格，其產(chǎn)品的成品率和可靠性主要取決于材料的純度和制造環(huán)境的潔凈度，因此對潔凈技術(shù)的要求也越來(lái)越高。
空調系統作為電子廠(chǎng)房中重要環(huán)節，不僅需要穩定控制室內溫度、濕度、潔凈度等，還需控制電子廠(chǎng)凈化車(chē)間內的排風(fēng)和換氣，保證24小時(shí)不間斷運行穩定可靠，是電子廠(chǎng)房實(shí)現潔凈環(huán)境要求的重要保障。
多年來(lái)，歐博針對不同的產(chǎn)品，不同的工廠(chǎng)規模，不同的工藝區域，推出了多元化的空調解決方案。
一、大型微電子凈化車(chē)間空調方案
為保證電子、光電子產(chǎn)品的質(zhì)量和高成品率，微電子行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度、溫度、濕度、靜電、壓差等方面要求極高。微電子行業(yè)潔凈室面積大，潔凈度特別高，環(huán)境控制要求高，而且工藝更新快。集成電路、平板顯示器工廠(chǎng)生產(chǎn)車(chē)間龐大，空調通風(fēng)量往往幾百萬(wàn)甚至上千萬(wàn)m3/h，能耗極大。氣載化學(xué)污染物對集成電路生產(chǎn)的影響，比空氣中懸浮物要廣泛和復雜的多。因此微電子行業(yè)的潔凈空調系統，不光要去除顆粒污染物，還要去除化學(xué)污染物。
MAU+DC+FFU
由于微電子凈化空調的高能耗，新建大規模微電子廠(chǎng)房，如集成電路（IC）、液晶顯示器（LCD）及薄膜液晶顯示器（TFT-LCD）等潔凈廠(chǎng)房通常采用更加節能的MAU+DC+FFU系統方案；新風(fēng)機組（MAU）負責去除新風(fēng)中的大顆粒及化學(xué)污染物，同時(shí)承擔系統內全部濕負荷；干盤(pán)管（DC）不負責除濕，僅承擔室內的部分顯熱負荷。
#新風(fēng)處理機組（MAU）#
風(fēng)量范圍5000-250000CMH
特點(diǎn)：
內部平整，適合凈化；
高強度箱體，安全運行不變形；
雙極噴淋設計，去除部分化學(xué)污染物，減輕化學(xué)過(guò)濾器負荷，同時(shí)實(shí)現調溫、調濕的作用；
#干盤(pán)管（DC）#
風(fēng)量范圍：400-50000CMH
特點(diǎn)：
機械式脹管，翅片和銅管連接緊密，高效開(kāi)窗式肋片，換熱效果好；
針對中溫冷水（>14℃）專(zhuān)業(yè)設計換熱回路；
肋片間距大，空氣壓降小，不影響FFU性能；
二、中小型電子凈化車(chē)間空調方案
印刷電路板（PCB）的生產(chǎn)、電子產(chǎn)品的裝配等凈化車(chē)間，通常規模相對較小，凈化空調可采用MAU+DC+FFU系統，也可采用集中式或集中式+分散式結合使用的空調系統。
#組合式空氣處理機組（AHU）#
型號系列：ZKW
風(fēng)量范圍：2000-100000CMH
特點(diǎn)：
內部平整，適合凈化；
內置框架，高強度箱體，安全運行不變形；
#螺桿式冷水機組#
適合中等規模凈化車(chē)間使用
型號系列：SL-LG
冷量范圍：420~2315KW
特點(diǎn)：新一代高性能半封閉雙螺桿壓縮機，高效節能，穩定可靠；
#風(fēng)冷模塊冷（熱）水機組#
適合小規模凈化車(chē)間使用
型號系列：FLM
冷量范圍：66-1040KW
特點(diǎn)：
模塊化組合，多級能量調節，控溫更精確；
后備運轉功能，單個(gè)系統故障不影響整機使用；
獨立化霜技術(shù)，除霜時(shí)制熱不停機；
名牌壓縮機，高效殼管式換熱器，性能穩定，持續穩定為凈化空調提供高品位冷水。
#風(fēng)冷凈化式空調機組#
適合分散式系統、單個(gè)小面積凈化車(chē)間使用
型號系列：FL
風(fēng)量范圍：2500-50000CMH
特點(diǎn)：
系統簡(jiǎn)單，自帶獨立冷源，響應迅速；
獨立式系統，安裝靈活、維護簡(jiǎn)單；
集成智能化控制，一鍵開(kāi)關(guān)機；
標配Rs485通訊接口，方便集中控制。
三、特殊應用常年制冷
電子凈化車(chē)間由于維護結構保溫性能好，功能分區多，車(chē)間內設備發(fā)熱量大，通常處于廠(chǎng)房中部的房間，即使在春秋季甚至冬季，也需要制冷降溫。
#常年制冷型風(fēng)冷模塊冷水機組#
四、控制系統
生產(chǎn)環(huán)境系統的自動(dòng)化控制水平將直接影響生產(chǎn)環(huán)境的品質(zhì)及狀態(tài)參數。保證控制系統的可靠運行顯得尤為重要。歐博可根據用戶(hù)不同的空調系統，分別提供不同的成套控制方案。
#冷水機房控制系統#
#凈化空調控制系統#
工程展示
