我國的半導體發(fā)展已到了至關(guān)重要階段，上海漢鐘生產(chǎn)的真空泵為了能在半導體事業(yè)上獻出一份力量，經(jīng)過(guò)多年的研究開(kāi)發(fā)，特推出應用于半導體產(chǎn)業(yè)的專(zhuān)用型號真空泵。

產(chǎn)品介紹

PMF系列、iPM系列和iPH系列，半導體專(zhuān)用干式真空泵

可滿(mǎn)足芯片制造環(huán)節的Load Lock、Metrology、PVD、Ashing、ETCH、CVD、ALD等工藝需求，并得到了眾多終端FAB廠(chǎng)和半導體設備商的好評。

PMF系列，專(zhuān)用于半導體干凈制程

如Load Lock、Metrology。此系列機型以體積小巧、安裝方便、節能效果為顯著(zhù)特點(diǎn)。其運行穩定性讓使用者放心；高性?xún)r(jià)比更是得到了很多新老客戶(hù)追捧和贊賞。

iPM系列，專(zhuān)用于半導體中度嚴苛制程

包括Ashing、Oxide Etch、Si Etch。此系列產(chǎn)品同樣以體積小巧、安裝方便、節能效果好、運行穩定等顯著(zhù)特點(diǎn)得到客戶(hù)的高度認可。

iPH系列，專(zhuān)用于半導體重度嚴苛制程

包括Metal Etch、Implant、SACVD、MOCVD、PECVD、LPCVD、ALD等工藝。獨特的泵體冷卻均勻和N2加熱恒溫系統設計，可避免大面積制程物沉積在泵體內，可大大延長(cháng)此產(chǎn)品的使用壽命和保養周期。同時(shí)，此系列產(chǎn)品也配備了耐防腐、耐粘液、防粉塵等專(zhuān)用涂層，能更好地應對并解決嚴苛制程工藝中粉塵多、強腐蝕等問(wèn)題，讓真空泵能長(cháng)期穩定的運行。真正做到了讓客戶(hù)買(mǎi)的放心，用的安心。

隨著(zhù)各系列產(chǎn)品在國內半導體產(chǎn)業(yè)的廣泛應用，已做到長(cháng)期無(wú)返修、保養周期長(cháng)，減少了客戶(hù)端真空泵產(chǎn)品的故障頻率，能更好的提升客戶(hù)的產(chǎn)線(xiàn)效率和產(chǎn)能。相信HANBELL真空泵產(chǎn)品一定是未來(lái)半導體行業(yè)的明星產(chǎn)品。