近日，藍途空調以其卓越的解決方案中標中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所項目，為其實(shí)驗室提供冷水盤(pán)管，助力國產(chǎn)EUV（極紫外光）光刻機取得重要進(jìn)展，顯示了中國半導體行業(yè)為追趕世界先進(jìn)水平的決心和實(shí)力。

EUV光刻機工作示意圖

據悉，EUV光刻技術(shù)是目前全球集成電路制造領(lǐng)域中最具有前景和潛力的先進(jìn)工藝之一。EUV光刻機，素有半導體制造業(yè)皇冠上的明珠之稱(chēng)，而EUV 光源（極紫外光）是其中最為核心的分系統之一。國產(chǎn)EUV的光學(xué)系統和控制系統為上海光機所自主設計研發(fā)，能夠實(shí)現1納米級別的曝光精度，達到國際先進(jìn)水平。

上海光機所

中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所（簡(jiǎn)稱(chēng)中科院上海光機所）是中國建立最早、規模最大的激光專(zhuān)業(yè)研究所，成立于1964年，已發(fā)展成為以探索現代光學(xué)重大基礎及應用基礎前沿研究、發(fā)展大型激光工程技術(shù)并開(kāi)拓激光與光電子高技術(shù)應用為重點(diǎn)的綜合性研究所。

現代實(shí)驗室為各專(zhuān)業(yè)實(shí)驗室(物理、化學(xué)、生物等)，都離不開(kāi)中央空調系統加持。不同專(zhuān)業(yè)實(shí)驗室對環(huán)境控制需求是不同的，通常需要恒溫恒濕，因為實(shí)驗結果可能會(huì )因為溫度和濕度的變化而產(chǎn)生誤差。實(shí)驗室中還可能存在大量的化學(xué)物質(zhì)或放射性物質(zhì)，這些物質(zhì)的揮發(fā)和擴散可能會(huì )對人員健康造成威脅。

2006年首臺EUV光刻機原型機實(shí)驗室

物理精密研究實(shí)驗室，一般為潔凈實(shí)驗室、超凈實(shí)驗室，除了要保持恒定的溫度和濕度，還對室內的發(fā)塵量與室內發(fā)菌量有具體要求，這些都需要專(zhuān)業(yè)的空調系統及設備，因此選擇具有經(jīng)濟實(shí)用、使用靈活、技術(shù)先進(jìn)的系統設計方案至關(guān)重要。藍途空調以其先進(jìn)的裝備制造，服務(wù)于業(yè)內知名微電子行業(yè)大廠(chǎng)、高等院校實(shí)驗室。中國科學(xué)院上海光機所選擇與藍途空調合作，攜手邁向中國半導體高端制造的征途，是對藍途空調的專(zhuān)業(yè)性的充分肯定，也為未來(lái)的進(jìn)一步戰略合作打下良好基礎。