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國祥微電子行業(yè)解決方案

來(lái)源:智慧國祥 作者:智慧國祥

2022-10-18 18:43:27

微電子技術(shù)是隨著(zhù)集成電路,尤其是超大型規模集成電路而發(fā)展起來(lái)的一門(mén)新的技術(shù)。其主要特點(diǎn)為超精細加工,生產(chǎn)環(huán)境要求高,動(dòng)力消耗大,投資巨大,工程復雜。隨著(zhù)生產(chǎn)工藝的不斷發(fā)展,微電子工業(yè)對環(huán)境及其配套工程的要求越來(lái)越嚴格,其產(chǎn)品的成品率和可靠性主要取決于材料的純度和制造環(huán)境的潔凈度,對潔凈空調技術(shù)的要求也越來(lái)越高。

國祥深耕電子凈化領(lǐng)域多年,針對不同的產(chǎn)品、生產(chǎn)規模、功能分區,提供多元化潔凈解決方案。

大型微電子凈化車(chē)間空調方案

集成電路(IC)、平板顯示器工廠(chǎng)生產(chǎn)車(chē)間龐大,空調通風(fēng)量往往幾百萬(wàn)甚至上千萬(wàn)m3/h,能耗極大。氣載化學(xué)污染物對集成電路生產(chǎn)的影響,比空氣中懸浮物要廣泛和復雜的多。因此微電子行業(yè)的潔凈空調系統,不光要去除顆粒污染物,還要去除化學(xué)污染物。

組合式空氣處理機組

風(fēng)量:1000~32萬(wàn)m3/h

由混合、過(guò)濾、冷卻、加熱、加濕、除濕、熱回收、消毒的等空氣處理功能段組合,可實(shí)現對空調區域內空氣的溫度、濕度、潔凈度的處理和控制,以實(shí)現空調系統集中送風(fēng);

機組箱體采用榫頭雙柱箱體專(zhuān)利設計,保證機組超高強度、超低漏風(fēng)率;

國家級測試中心漏風(fēng)率報告,漏風(fēng)率僅0.03%,機組配置超低漏風(fēng)且安全泄壓專(zhuān)利檢修門(mén),機組冷橋因子和傳熱系數達歐標TB1/T1要求;

機組以卓越的性能順利通過(guò)德國TUV測試認證,品質(zhì)得到了國內外廣泛認可。

干盤(pán)管

風(fēng)量:1000~10000 m3 /h

溫濕度、潔凈度獨立控制;結構精巧,性能優(yōu)越;采用專(zhuān)利換熱鱗片,空氣阻力低;每臺出廠(chǎng)前都經(jīng)過(guò)12~14MPa的水壓試驗,性能穩定可靠。

磁懸浮變頻離心式冷水機組M-plus+ 

冷媒:R134a

制冷量:984.8~3517.0kW

由磁懸浮變頻壓縮機、經(jīng)濟器、降膜式蒸發(fā)器、強過(guò)冷冷凝器等部件組成,其滿(mǎn)載性能系數高達6.75、綜合部分負荷性能系數高達11.85,全負荷范圍內均具有超一流的運行能效;

無(wú)油運轉,維護簡(jiǎn)單,整個(gè)生命周期內性能無(wú)衰減;

運轉安靜,僅70dB(A)左右。

中小型電子凈化車(chē)間空調方案

印刷電路板(PCB)的生產(chǎn)、電子產(chǎn)品的裝配等凈化車(chē)間,通常規模相對較小。

直流變頻直膨式空調機組

冷媒:R410a

制冷量:25.2~224 kW

空氣處理部分采用專(zhuān)利榫頭雙柱結構,機組漏風(fēng)率僅為0.03%。機組采用面板直接拼裝結構,面板內部為高密度聚氨酯發(fā)泡,確保面板有足夠的強度;

機組內表面光滑平整,不易積灰,無(wú)二次污染,適合凈化場(chǎng)所使用;

全新高壓腔直流變頻壓縮機實(shí)現電機的高效運轉特別在低速、低壓比時(shí)效率更高,更節能,滿(mǎn)足機組的全工況運行;冷凝風(fēng)機采用無(wú)刷直流電機,效率較普通電機高35%,同時(shí)可根據系統壓力變化調整轉速,保證系統處于最佳運行狀態(tài);

柔性渦旋壓縮機可承受一定程度液壓縮,延長(cháng)使用壽命;內置浮動(dòng)渦旋盤(pán)可自動(dòng)泄壓,避免渦旋盤(pán)損壞提升了壓縮機可靠性;兩次過(guò)冷技術(shù)增加了液態(tài)冷媒過(guò)冷度,降低了管道流動(dòng)阻力,增加允許配管的長(cháng)度,提升了電子膨脹閥的穩定性;

直流變頻技術(shù),制冷能力根據負荷無(wú)級調節,溫濕度控制精準,波動(dòng)小。

滿(mǎn)溢式螺桿冷水機組

冷媒:R22/R134a

制冷量:275~3600kW(R22)245~3000kW(R134a)熱回收:83~1080kW(R22)(可選)

主要用來(lái)為中央空調工程和工業(yè)生產(chǎn)提供集中冷源,同時(shí)根據客戶(hù)需求可提供清潔熱水;廣泛應用于軌道交通、賓館、飯店、學(xué)校、商場(chǎng)、辦公樓、醫院等空調場(chǎng)所,也可用于核電、塑料化工、精密儀器等工藝冷卻過(guò)程。

模塊式風(fēng)冷熱泵

冷媒:R410a

制冷量:50.5~2096kW

采用最新全密閉渦旋式壓縮機,噪聲低、振動(dòng)小且能效比高;

模塊化設計,可分級啟動(dòng)以減少對電網(wǎng)的瞬間沖擊,節省電能;

每個(gè)模塊均有獨立的框架結構,制冷系統和控制保護系統,各模塊單元以步進(jìn)方式達到空調所需的負荷容量,任何模塊單元發(fā)生故障時(shí)并不影響其他模塊單元的正常工作。

常年制冷

電子凈化車(chē)間由于維護結構保溫性能好,功能分區多,車(chē)間內設備發(fā)熱量大,通常處于廠(chǎng)房中部的房間,即使在春秋季甚至冬季,也需要制冷降溫。

風(fēng)冷大渦漩冷水機組

冷媒:R410a

制冷量:230~3680kW

模塊化設計,可分級啟動(dòng)以減少對電網(wǎng)的瞬間沖擊,節省電能;

每個(gè)模塊均有獨立的框架結構,制冷系統和控制保護系統,各模塊單元以步進(jìn)方式達到空調所需的負荷容量,任何模塊單元發(fā)生故障時(shí)并不影響其他模塊單元的正常工作。

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